Flat-Top XYZ Automated stage（高精度電動ステージ）
高精度電動ステージ。
多点観察に欠かせない高精度電動ステージです。ジョイスティック操作のほかRS-232やUSBでホストコンピュータから制御可能です。サンプル形状に応じた各種ホルダをご用意しています。
Specifications for Standard Configuration
| XY axis range of travel |
120mm x 75mm |
|---|---|
| XY axis resolution (encoder step) |
22nm |
| XY axis RMS repeatabilityTL出力 |
<700nm |
| XY axis maximum velocity | 7mm/sec |
Lead Screw Options
| Lead Screw Pitch Options | Rotary Encoder Resolution | Maximum Speed |
|---|---|---|
|
25.40mm (Ultra-coarse) |
88nm |
28mm/sec |
|
12.70mm (Super-coarse) |
44nm |
14mm/sec |
|
6.35mm (Standard) |
22nm |
7mm/sec |
|
1.59mm (Fine) |
5.5nm |
1.75mm/sec |
Lead Screw Options
| Axis | Resolution | Scale Accuracy |
|---|---|---|
|
XY |
10nm |
±3um per length of scale |
その他、オプション等につきましてはカタログPDFを御覧ください。
カタログダウンロード
PDF版のカタログを以下からダウンロード可能です。
ご活用ください。
